ÎNCERCĂRI DE PERFORMANŢĂ PENTRU CARACTERIZAREA UNUI DISPOZITIV MEMS
Autor/autori: Florin Teodor TĂNĂSESCU, Gheorghe ŞTEFĂNESCU, Cristinel ILIE, Marius POPA, Sergiu DUMITRU
Rezumat: Plecând de la soluţia constructivă pentru un dispozitiv microelectromecanic (MEMS), autorii îşi propun să dezvolte un program de încercări care să permită stabilirea nivelului de performanţă pentru un dispozitiv de acest tip. Se analizează standardele existente elaborate de CEI în domeniul MEMS, ca şi unele norme de firmă, semnalându-se din acestea elemente care pot fi extrapolate. Sunt prezentate o serie de încercări de natură optică, mecanică sau electică ce pot furniza informaţii asupra proprietăţilor dispozitivului, indicându-se şi aparatura specifică acestor încercări. Datele furnizate constituie o bază de date utilă pentru proiectanţi sau pentru elaborarea în viitor a unui standard de produs
Cuvinte cheie: standard, încercare, dispozitiv MEMS
Abstract: Based on the design for a micro-electromechanical (MEMS ) authors aim to develop a program attempts to establish his level of performance for a device of this type. It examines existing standards developed by IEC in MEMS as some firm rules , signaled they are the elements that can be extrapolated. They presented a series of optical, mechanical or electric test which can provide informations on the properties of the device, indicating the specific equipment and such tests. The results ase useful for designers or for future development of a standard product
Keywords: standard test MEMS device