Sari la conținutul principal
Vezi AGIR — Asociația Generală a Inginerilor din România ISSN-L 1224-7928 · Online ISSN 2247-3548
Sigla AGIR
Buletinul AGIR
Revistă științifică trimestrială · din 1919
Indexată în baze de date internaționale EBSCOhost — EBSCO Publishing Inc. Index Copernicus International
Indexată în EBSCOhostIndex Copernicus International
Buletinul AGIR · nr. 3/2011

RESEARCH ON THE USE OF INTELLIGENT MICROSCOPIC SYSTEMS USED IN MICRO-NANOMECHATRONIC MEASURING AND PROCESSINGS LABORATORIES

PhD Student Simona ISTRITEANU, Prof.PhD Eng.EurIng. Gheorghe Ion GHEORGHE

Buletinul AGIR nr. 3/2011 · Anul XVI

Articolul complet (PDF)

Rezumat

Lucrarea stiintifica prezinta “conceptul microscopului de forta atomica”, integrat in laboratoarele de masurari si procesari
micronanomecatronice din cadrul Institutului National de Cercetare Dezvoltare pentru Mecatronica si Tehnica Masurarii INCDMTM Bucuresti, cu descrieri structurale – functionale – scanari laser – alinieri – masurari – imagini de suprafata straturi subtiri, etc.
Lucrarea stiintifica prezinta in ansamblul sau, procedurile de masurare si scanare, imagini ale topografiei suprafetei straturilor subtiri, fenomenele intime de interactie intre varful de palpare si atomii probei, relatiile intre tipurile de deformatii ale indoirii cantileverului, conexiunile inverse intr-un punct de sprijin pentru detectarea optica etc.

Cuvinte cheie: microscopie inteligentamicroscop de forta atomicascanare lasercontroller SPMcomputer.

Abstract

The scientific paper presents “the concept of the atomic force microscope”, integrated into the micro-nano-mechatronic
measuring and processing laboratories in The National Institute for Research and Development in Mechatronics and Measurement
INCDMTM Bucharest, with structural and functional descriptions, laser scanning, alignments, surface images of thin layers and so
on. The scientific paper presents mainly the measuring and scanning procedures, images of the surface topography, intimate
phenomena of interaction between the palpating tip and the atoms of the probe, the relations between the types of deformation of
bending of the cantilever, the inverse connections in a balancing point for optical detection and so on.

Keywords: Intelligent microscopesatomic force microscopelaser scanningSPM controllercomputer

Din același număr

Tot cuprinsul